特許
J-GLOBAL ID：200903050053649583
マスク保護装置の製造法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 晃一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-250947
公開番号（公開出願番号）：特開平8-114910
出願日： 1994年10月17日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【目 的】 ガラス基板上に製膜した有機質の薄膜を引剥がしたのち、枠の上端面に接着し、ついで枠外側のエッジよりはみ出る薄膜を切断するマスク保護装置の製造法において、枠外側端のエッジよりはみ出る薄膜の切断をメスを用いて行う際、刃先が枠外側端のエッジに引掛かってスムースな動きを阻害されたり、エッジを削り取って発塵することのないようにする。【構 成】 刃先が14aがテーパ状をなすメス14の本体14bを枠外側端のエッジに接触させ、かつ刃先を枠より浮かせた状態で、枠の形状に沿って移動させ、枠外側のエッジよりはみ出る薄膜の切断を行う。
請求項（抜粋）：
ガラス基板上に製膜した有機質の薄膜を引剥がしたのち、枠の一側面に接着し、ついで枠外側のエッジよりはみ出る薄膜を切断するマスク保護装置の製造法において、枠外側のエッジよりはみ出る薄膜の切断を刃先がテーパ状ないしV形断面をなすメスを用い、該メスの本体を枠外側のエッジに接触させ、かつ刃先を枠外側のエッジより浮かせた状態で、枠外側のエッジに沿わせて移動させることにより行うことを特徴とするマスク保護装置の製造法。
IPC (2件)：
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