特許

J-GLOBAL ID：200903050055819052

走査ヘッドおよびそれを利用可能な外観検査方法および装置

発明者： 秋山 吉宏 ,  岩野 行雄
出願人/特許権者： 株式会社サキコーポレーション
代理人 (1件)： 森下 賢樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-244686
公開番号（公開出願番号）：特開2002-055060
出願日： 2000年08月11日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】 プリント基板等を検査するラインセンスタイプの外観検査装置において、検査精度の改善と試験時間の短縮の両立が切望されている。【解決手段】 外観検査装置の試験ユニット14は、走査ヘッドをもつ。走査ヘッドは、照明ユニット30とラインセンサ34をもつ。照明ユニット30は落射照明源100と側方照明源102をもつ。落射照明源100と被検査体の間には、落射光を揃えるためのレンチキュラーシート106が設けられている。側方試験時には、落射照明源100の中央部分以外も点灯し、側方光に対して補助光を発生する。

請求項（抜粋）：

三次元形状を有する被検査体を走査するヘッドであって、前記被検査体の検査面に垂直上方から投光する落射照明源と、前記検査面から垂直上方へ向かう反射光を検知する一次元センサと、前記落射照明源と前記被検査体に間挿された、レンズ面および非レンズ面を有するレンチキュラーシートとを含み、前記レンチキュラーシートは、前記レンズ面が前記被検査体に対向し、かつそのレンズ溝の方向と前記一次元センサの走査方向が略直交するよう配置されたことを特徴とする走査ヘッド。

IPC (2件)：

G01N 21/956 ,  G06T 1/00 305

FI (2件)：

G01N 21/956 B ,  G06T 1/00 305 Z

Fターム (21件)：

2G051AA65 ,  2G051AB14 ,  2G051AC15 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051BB07 ,  2G051BC05 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CD06 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051FA10 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA12 ,  5B057BA15 ,  5B057BA21 ,  5B057DA03

引用特許：

出願人引用 (3件)

• パターン読取装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-128378   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• レンチキュラーレンズシート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-108428   出願人：株式会社クラレ
• 外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-057408   出願人：株式会社サキコーポレーション

審査官引用 (3件)

• パターン読取装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-128378   出願人：大日本スクリーン製造株式会社
• レンチキュラーレンズシート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-108428   出願人：株式会社クラレ
• 外観検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-057408   出願人：株式会社サキコーポレーション