特許

J-GLOBAL ID：200903050056838751

カラー固体撮像装置のカラーフィルタの形成方法

発明者： 溝口 弘明 ,  堀内 俊二 ,  廣谷 洋一 ,  狭山 征博
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-136772
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332920
出願日： 1997年05月27日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 固体撮像素子の表面に形成された熱硬化性樹脂からなる平坦化膜7上にレジスト材からなるカラーフィルタ8を形成するカラー固体撮像装置のカラーフィルタの形成方法において、熱硬化性樹脂からなる平坦化膜7にマイクロクラックが発生しないようにする。【解決手段】 カラーフィルタ8を形成する際の熱処理温度を220°C未満で212°C以上にする。

請求項（抜粋）：

固体撮像素子の表面に形成された熱硬化性樹脂からなる平坦化膜上にレジスト材からなるカラーフィルタを形成するカラー固体撮像装置のカラーフィルタの形成方法において、カラーフィルタを形成する際の熱処理温度を220°C未満で212°C以上にすることを特徴とするカラー固体撮像装置のカラーフィルタの形成方法

IPC (5件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/40 501 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07

FI (5件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/40 501 ,  H04N 5/335 V ,  H04N 9/07 D ,  H01L 27/14 D