特許

J-GLOBAL ID：200903050058948481

薄板ワークの表面検査装置

発明者： 下田 勇一 ,  和田 憲也 ,  加藤 昇
出願人/特許権者： 日立電子エンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 影井 俊次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-110015
公開番号（公開出願番号）：特開2003-302346
出願日： 2002年04月12日
公開日（公表日）： 2003年10月24日
要約：

【要約】【課題】 ワークの検査ユニットに対して厳格に平行度を持たせた状態で検査を行なえるようにし、かつ検査ユニットの設置スペースをコンパクト化する。【解決手段】 枠状とした支持フレーム11には、ワーク1を支持するために、、上部側、下部側のクランプ手段15,16が設けられ、回動軸12を中心として水平位置と、検査装置10の傾斜角と実質的に同じ角度傾斜する状態に立てた位置との間に傾動変位するようになっており、水平位置でワーク1が着脱され、支持フレーム11を立てた状態で検査装置10によるワーク1の表面検査が実行される。支持フレーム11の検査位置では水平面に対して直角に近い角度となし、かつ下部側のクランプ手段16に作用する張力発生手段17によりワーク1は下方に向けて張力が作用して、ワーク1の全面が検査装置10に対して正確に平行度が出され、検査している間中この状態で極めて安定的に保持される。

請求項（抜粋）：

所定角度傾斜した状態に配置され、薄板ワークの表面状態を検査する検査ユニットと、前記薄板ワークを、その表裏両面のほぼ全体が開放されるようにして着脱可能に支持する支持フレームと、前記支持フレームを水平状態に保持して、前記薄板ワークを支持フレームに着脱する着脱位置と、前記検査ユニットの傾斜角と一致する角度に傾けて、前記検査ユニットにより支持フレームに装着した薄板ワークの表面検査を行う検査位置とに回動変位させる回動駆動手段と、前記支持フレームに装着され、前記薄板ワークを傾けた時の上端部と、下端部とを着脱可能にクランプする上部側及び下部側のクランプ手段と、前記上部側のクランプ手段に接続され、前記支持フレームを傾けた時に前記薄板ワークに引っ張り力を作用させる張力発生手段とから構成される薄板ワークの検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/84 ,  G01M 11/00 ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

FI (5件)：

G01N 21/84 C ,  G01M 11/00 T ,  G01N 21/958 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1333 500

Fターム (11件)：

2G051AA65 ,  2G051AB02 ,  2G051AC15 ,  2G051BB02 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G086EE10 ,  2H088FA11 ,  2H088FA30 ,  2H088HA01 ,  2H090JC19