特許
J-GLOBAL ID:200903050059514671

ウエハの接着装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 綿貫 隆夫 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-274661
公開番号(公開出願番号):特開平5-090405
出願日: 1991年09月25日
公開日(公表日): 1993年04月09日
要約:
【要約】【目的】 本発明は高精度にシリコンウエハをキャリアプレートに接着することができるウエハの接着装置を提供することを目的とする。【構成】 シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段16と、シリコンウエハの接着面に塗布された接着剤を加熱する加熱手段18と、シリコンウエハを接着するキャリアプレート30を載置して加熱するヒータ装置222と、ヒータ装置222に載置されたキャリアプレート30にシリコンウエハを載置する搬送手段とを具備し、シリコンウエハの中心が移動する移動軌跡Lが一直線となるように各手段を配置した。
請求項(抜粋):
シリコンウエハを回転させつつ接着面にワックス等の接着剤を滴下して接着剤を塗布する塗布手段と、シリコンウエハの接着面に塗布された接着剤を加熱する加熱手段と、シリコンウエハを接着するキャリアプレートを載置し、加熱するヒータ装置と、ヒータ装置に載置されたキャリアプレートにシリコンウエハを載置する搬送手段とを具備し、シリコンウエハの中心が移動する移動軌跡が一直線となるように各手段を配置したことを特徴とするウエハの接着装置。

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