特許

J-GLOBAL ID：200903050060774431

プローブ顕微鏡

発明者： 村山 健
出願人/特許権者： 日立建機株式会社
代理人 (1件)： 武 顕次郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-018225
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211074
出願日： 1995年02月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【目的】 軸間干渉なく複数の探針又はカンチレバーを自動的に切り換えることができ、かつ、高速走査が可能なプローブ顕微鏡を提供すること。【構成】 微動機構1は筒体の圧電体2および複数の電極3X1 〜3Y4 で構成され、各電極に所定の電圧を印加することによりX、Y軸方向の走査、Z軸方向の変位を行う。Y軸方向に並列に固定された複数のカンチレバー4(先端に探針5が固定されている)を備えたベース21が圧電体2の自由端にばね22で圧接されている。圧電体2の自由端側の隣接する各電極間にはスリット20が形成されている。これらの電極3X3 〜3Y4 に所定の電圧を印加することにより、圧電体を用いた超音波モータの原理でベース21をY軸方向へ移動させてカンチレバー4を取り換えることができる。

請求項（抜粋）：

探針を複数個、又は探針を固定したカンチレバーを複数個取り付けたベースを備え、前記探針、又は前記カンチレバーを取換えて使用するプローブ顕微鏡において、筒体形状の圧電体およびこの圧電体に配置された複数の電極より成り当該圧電体の一端が固定され多端が自由端である微動機構と、この微動機構の前記自由端に前記ベースを移動自在に圧接する圧接手段と、前記ベースが前記微動機構の自由端に圧接された状態で当該ベースを駆動して前記探針又は前記カンチレバーを切り換えるベース駆動手段とを設けたことを特徴とするプローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30