特許
J-GLOBAL ID：200903050064567988
縦型減圧気相成長装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮越 典明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-353904
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166737
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】 低歩留の原因となる発塵を抑制し、かつ、反応室内を十分にガス置換し得る縦型減圧気相成長装置を提供すること。【構成】 不活性ガスを供給する不活性ガス供給管15を外部石英管1と内部石英管2の間に設置し、この不活性ガス供給管15の先端に複数のガス放出穴を有する吹き出し口16を石英ボ-ト6の真上部に設け、また、排気配管9に補助配管13を備えた装置。【効果】 石英ボ-ト6が入炉する際、不活性ガス供給管15内を流れる不活性ガスがフランジ14内部の反応生成物を巻き上げることを防止し、低歩留の原因となる発塵を抑制する効果が生ずる。また、排気配管9に補助配管13を設けることにより、外部石英管1と内部石英管2の間のガス置換を行うことができ、反応室内を十分にガス置換できる。
請求項（抜粋）：
外部石英管と内部石英管を有する反応室及び反応ガス供給管、不活性ガス導入管、排気配管を具備してなる縦型減圧気相成長装置において、不活性ガス供給管を外部石英管と内部石英管との間に設置し、この不活性ガス供給管の先端に複数のガス放出穴を有する吹き出し口を石英ボ-トの真上部に設け、かつ、排気配管に補助配管を配設してなることを特徴とする縦型減圧気相成長装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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