単結晶引上げ用容器の原料供給装置および原料供給方法

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：木村高久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-186734
公開番号（公開出願番号）：特開2003-002779
出願日： 2001年06月20日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】CZ炉の分解、清掃、組立作業時の作業効率を損なうことなく、またCZ炉の製造コストを上昇させることなく、また単結晶シリコンの品質を低下させることなく、多結晶シリコン原料を供給できるようにする。【解決手段】単結晶引上げ用容器1から分離自在に原料供給装置100が設けられる。原料供給装置100には、単結晶引上げ用容器1に設けられた容器側開口部3に対して取り付けおよび取り外しが自在に、供給装置側開口部8が設けられる。また供給装置側開口部8の内外に移動自在に、供給管13が設けられる。また供給装置側開口部8が、容器側開口部3に取り付けられた際に、供給管13の先端13aを、供給装置側開口部8内から外へ移動させて容器側開口部3を介して単結晶引上げ用容器1内の融液71近傍に位置させる自由度を有した駆動軸11、51、52が設けられる。

請求項（抜粋）：

多結晶の原料(63)を溶融し融液(71)から単結晶半導体を引き上げる単結晶引上げ用容器(1)を備え、前記単結晶引上げ用容器(1)内に外部から供給管(13)を介して多結晶原料(63)を供給するようにした単結晶引上げ用容器の原料供給装置において、前記単結晶引上げ用容器(1)から分離自在の原料供給装置(100)であって、単結晶引上げ用容器(1)に設けられた容器側開口部(3)に対して取り付けおよび取り外しが自在の供給装置側開口部(8)と、前記供給装置側開口部(8)の内外に移動自在の供給管(13)と、前記供給装置側開口部(8)が、前記容器側開口部(3)に取り付けられた際に、前記供給管(13)の先端(13a)を、前記供給装置側開口部(8)内から外へ移動させて前記容器側開口部(3)を介して単結晶引上げ用容器(1)内の融液(71)近傍に位置させる自由度を有した駆動軸(11、51、52)とを前記原料供給装置(100)に設けたことを特徴とする単結晶引上げ用容器の原料供給装置。

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 , C30B 15/02

FI (2件)：

C30B 29/06 502 A , C30B 15/02

Fターム (8件)：

4G077AA02 , 4G077BA04 , 4G077CF05 , 4G077EG30 , 4G077PB01 , 4G077PB04 , 4G077PB09 , 4G077PB11

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