特許
J-GLOBAL ID：200903050069959507
円錐状磁極片付きの共中心空隙複合電磁レンズおよび偏向器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内原 晋
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-515712
公開番号（公開出願番号）：特表2000-501557
出願日： 1997年09月16日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：
【要約】粒子ビーム光学系用の複合電磁レンズおよび偏向器は電磁偏向をより正確にするように配置した共中心空隙と共中心円錐状下側磁極片とを備える。飽和効果を最小にするようにソレノイドレンズコイルからの磁束を軟質磁性材料製の内部磁極片と高飽和磁束密度の外部磁極片とに分流させ、一方内部の偏向コイルからの磁束を軟質磁性材料の内部磁極片に閉じ込めて漏洩磁束とそれに伴う渦電流効果を最小に抑える。遮へい環で漏洩磁束をさらに閉じ込める。内部磁気回路は熱膨張ドリフトを最小に抑えるように半径方向フレクシュアに取り付け接着剤で固定する。
請求項（抜粋）：
偏向コイルと、上側内部磁極片および下側内部磁極片であって下側内部磁極片が上側内部磁極片から空隙4で分離されており上側内部磁極片が偏向コイルを取り囲んでいる上側内部磁極片および下側内部磁極片とを含む粒子ビーム用の複合電磁レンズおよび偏向器において、 前記上側内部磁極片を取り囲む上側外部磁極片と前記下側内部磁極片を取り囲む下側外部磁極片とを有する外部磁極片構造をさらに含み、前記下側内部磁極片が前記粒子ビームと共中心の開口とその開口よりも前記上側内部磁極片に近い基部とを有する円錐状構造を区画する複合電磁レンズおよび偏向器。
IPC (2件)：
H01J 37/141
, H01J 37/147
H01J 37/141 Z
, H01J 37/147 B
, H01J 37/147 C
