特許

J-GLOBAL ID：200903050072960885

ウエハハンドリング装置

発明者： 藤枝 俊二
出願人/特許権者： 株式会社近藤製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-160547
公開番号（公開出願番号）：特開2004-006534
出願日： 2002年05月31日
公開日（公表日）： 2004年01月08日
要約：

【課題】ウエハ表面に直接接触することなくウエハを保持すると共にウエハの位置決め及びウエハの把持検出が可能なバッチ式ウエハハンドリング装置を提供する。【解決手段】オーバーラップさせた状態で左右交互に配設したスプリング11によるバッファ機構と連結した可動爪4をシリンダにより進退動作する装置構成とし、可動爪とフォーク先端に配設した固定爪2によってウエハを把持するものとし、把持したウエハの検出を上部と下部に対向して設けた一対の検出装置により検出可能な構成とした。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ウエハカセット内に収納される複数のウエハを同時に把持搬送を行うためのウエハ搬送装置で、ベースに取り付けられたフォークに配設された固定爪と、シリンダにより進退動作を行うセンタークランプに取り付けられた可動爪によりウエハの把持搬送を行うバッチ式ウエハハンドリング装置において、シリンダによって進退動作を行うリニアプレートとセンタークランプの間にバッファ機構を設けた事を特長とするバッチ式ウエハハンドリング装置。

IPC (3件)：

H01L21/68 ,  B25J15/08 ,  B65G49/07

FI (5件)：

H01L21/68 A ,  H01L21/68 D ,  H01L21/68 S ,  B25J15/08 A ,  B65G49/07 F

Fターム (27件)：

3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007ES02 ,  3C007ET08 ,  3C007EU18 ,  3C007EW16 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA11 ,  5F031GA03 ,  5F031GA06 ,  5F031GA07 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA15 ,  5F031GA36 ,  5F031GA38 ,  5F031JA05 ,  5F031JA22 ,  5F031JA27 ,  5F031KA02 ,  5F031LA15 ,  5F031PA08 ,  5F031PA30

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ウエハ把持装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-022000   出願人：新明和工業株式会社