特許

J-GLOBAL ID：200903050075495059

レイビル基を有するポリマーを含有する放射線感光性組成物

発明者： ロジヤー・シンタ ,  リチヤード・シー・ヘモンド ,  デイビツド・アール・メデイーラス ,  マーサ・エム・ラジヤラツトナム ,  ジエイムズ・ダブリユ・サツカリー ,  ダイアン・カニストロ
出願人/特許権者： シツプリイ・カンパニイ・インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 川口 義雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-277846
公開番号（公開出願番号）：特開平5-249673
出願日： 1992年09月22日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 本発明はフェノール単位と環式アルコール単位とのポリマー結合剤を有する放射線感光性組成物を提供する。【構成】 ポリマーのフェノール単位及び/又は環式アルコール単位の少なくとも一部は酸レイビル基に結合している。結合剤を酸レイビル基に並程度に置換するだけで、露光領域と非露光領域との間に高い溶解度の差が得られる。

請求項（抜粋）：

樹脂結合剤と活性化放射線に露光されると酸を生成する放射線感光性成分との混合物からなる放射線感光性組成物であって、樹脂結合剤がフェノール単位及び非芳香族環式アルコール単位を有するポリマーからなり、ポリマーのヒドロキシル基の少なくとも一部が酸レイビル基に結合しており、放射線感光性成分の配合量が組成物のコーティングを活性化放射線に露光することにより潜像を生成することが可能な量であることを特徴とする組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/032 ,  G03F 7/004 515 ,  G03F 7/022 ,  G03F 7/029 ,  G03F 7/039 ,  G03F 7/20 502 ,  H01L 21/027

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平3-087746
  
• 特開平3-107162
  
• 特開平3-107160
  
• 特開平2-103048
  
• 特開平2-018564