特許
J-GLOBAL ID:200903050079348310

感光性樹脂組成物およびそれを用いた無機造形物の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 鈴木 俊一郎 ,  牧村 浩次 ,  高畑 ちより ,  鈴木 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-283734
公開番号(公開出願番号):特開2004-118050
出願日: 2002年09月27日
公開日(公表日): 2004年04月15日
要約:
【解決手段】本発明の第1の感光性樹脂組成物は、特定性状のアルカリ可溶性樹脂、光硬化剤、光重合開始剤および希釈溶媒を含有する感光性樹脂組成物であって、この感光性樹脂組成物は、さらに無機粉末を添加して基材上に塗布し、露光・現像してパターン化し、焼成して無機造形物を形成するために使用され、かつ、光硬化剤が分子内にウレタン結合を有する化合物を含むことを特徴としている。【効果】本発明によれば、特定のアルカリ可溶性樹脂と、特定の光硬化剤を用いた感光性樹脂組成物により、所望の微細な形状の無機造形物を好適に形成することができる。また、得られた無機造形物は、積層、転写が容易であり、電子部品の高密度実装に用いられる微細な回路パターンを有する回路基板、特に多層回路基板の製造、微細な受動部品および受動部品内蔵基板の製造、プラズマディスプレイの各種部材(電極、蛍光体、誘電体など)の製造用途に好適に用いることができる。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
アルカリ可溶性樹脂、光硬化剤、光重合開始剤および希釈溶媒を含有する感光性樹脂組成物であって、この感光性樹脂組成物は、さらに無機粉末を添加して基材上に塗布し、露光・現像してパターン化し、焼成して無機造形物を形成するために使用され、上記アルカリ可溶性樹脂が、下記条件(1)〜(4)を満たし、かつ、光硬化剤が分子内にウレタン結合を有する化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物; (1)アルカリ可溶性樹脂の重量平均分子量が、10,000〜100,000であること、 (2)アルカリ可溶性樹脂のガラス転移温度が-30°C〜30°Cであること、 (3)TGAを用いて測定されたアルカリ可溶性樹脂の10%重量減少温度が100°C以上であり、かつ、400°Cで90%以上重量減少すること、 (4)アルカリ可溶性樹脂が、分子鎖中にカルボキシル基以外の反応性官能基を1〜10モル%含有していること。
IPC (3件):
G03F7/033 ,  G03F7/027 ,  G03F7/40
FI (3件):
G03F7/033 ,  G03F7/027 513 ,  G03F7/40 501
Fターム (31件):
2H025AB15 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC14 ,  2H025BC66 ,  2H025CA01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA18 ,  2H025CA39 ,  2H025CB10 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB43 ,  2H025CB52 ,  2H025CB55 ,  2H025CB60 ,  2H025CC03 ,  2H025CC08 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H096AA26 ,  2H096AA27 ,  2H096BA05 ,  2H096BA20 ,  2H096EA02 ,  2H096GA08 ,  2H096HA01 ,  2H096JA04 ,  2H096LA16
引用特許:
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示
引用文献:
出願人引用 (1件)
  • Techniques and Methods of POLYMER EVALUATION, 1966, vol.1:Thermal Analysis, 120頁〜139頁
審査官引用 (2件)
  • Techniques and Methods of POLYMER EVALUATION, 1966, vol.1:Thermal Analysis, 120頁〜139頁
  • Techniques and Methods of POLYMER EVALUATION, 1966, vol.1:Thermal Analysis, 120頁〜139頁

前のページに戻る