特許

J-GLOBAL ID：200903050079439110

走査形電子顕微鏡

発明者： 田中 隆一 ,  黒目 雄三
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-016686
公開番号（公開出願番号）：特開平10-214583
出願日： 1997年01月30日
公開日（公表日）： 1998年08月11日
要約：

【要約】【課題】本発明の目的は生物試料をその形状変化の低減化を図りつつ光学顕微鏡観察及び走査形電子顕微鏡観察により広倍率範囲に亘って効率的に観察することを可能にするのに適した走査形電子顕微鏡を提供すりことにある。【解決手段】電子銃2から放出される電子ビ-ムは試料室1内の試料3に集束される。また、電子ビ-ムは二次元的に偏向され、それによって試料3は電子ビ-ムによって二次元的に走査される。それによって試料3から発生される二次電子は二次電子検出器4によって検出され、走査形電子顕微鏡観察のために画像処理装置15に取り込まれて記憶される。一方、試料ステ-ジ5は試料室1の壁から取外され、その取外された試料ステ-ジ5は試料室1の壁に設けられた案内9に沿って移動され、試料3は光学顕微鏡観察位置21に位置付けられる。

請求項（抜粋）：

試料の観察されるべき部分を真空にされた試料室内の走査形電子顕微鏡観察位置に位置づけるように前記試料を移動可能に支持する試料ステ-ジを前記試料室壁に取外し可能に取付け、前記走査電子顕微鏡観察位置に位置づけられた前記試料の観察されるべき部分を走査形電子顕微鏡観察する走査形電子顕微鏡において、前記試料ステ-ジを前記試料室壁から取外し、その取外された試料ステ-ジを移動させて、そのステ-ジに支持された試料を前記試料室外の非真空雰囲気中の光学顕微鏡観察位置に位置づけ得るように、前記取外された試料ステ-ジを案内する案内手段と、前記非真空雰囲気中の光学顕微鏡観察位置において前記観察されるべき部分を光学顕微鏡観察する光学顕微鏡とを備えていることを特徴とする走査形電子顕微鏡。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  H01J 37/22 502 ,  H01J 37/22

FI (4件)：

H01J 37/20 D ,  H01J 37/20 B ,  H01J 37/22 502 L ,  H01J 37/22 502 H