特許

J-GLOBAL ID：200903050085743840

反射屈折結像光学系および該光学系を備えた投影露光装置

発明者： 大村 泰弘
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 井上 義雄
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP1999007225
公開番号（公開出願番号）：WO2000-039623
出願日： 1999年12月22日
公開日（公表日）： 2000年07月06日
要約：

【要約】少ないレンズ枚数で、反射鏡の大型化を招くことなく、所望の像側NA及びイメージサークルを得ることができる反射屈折結像光学系等を提供することを目的とする。この反射屈折結像光学系は、第1結像光学系と第2結像光学系とを備え、第1結像光学系は、物体側から順に、正第1レンズ群と開口絞りと正第2レンズ群とを有し、第2結像光学系は、中央部に第1光通過部を有する負第1反射面からなる主鏡と、中央部に第2光通過部を有する第2反射面からなる副鏡とを備える。ここで、光学系を構成するすべての屈折部材を同一の光学材料で構成したり、屈折面や反射面のうち少なくとも1つを非球面としたり、第1反射面及び第2反射面から離間されている屈折部材を配置したりする。

請求項（抜粋）：

第1面の一次像を形成するための屈折型の第1結像光学系と、前記一次像からの光に基づいて前記第1面の二次像を縮小倍率で第2面上に形成するための反射屈折型の第2結像光学系とを備えた反射屈折結像光学系であって、 前記第1結像光学系は、第1面側から順に、正の屈折力を有する第1レンズ群と、開口絞りと、正の屈折力を有する第2レンズ群とを有し、 前記第2結像光学系は、凹面状に形成された表面反射面を有し且つ中央に第1の光通過部を有する主鏡と、中央に第2の光通過部を有する反射面を備えた副鏡と、該副鏡の前記主鏡側に隣接して配置されて負の屈折力を有するレンズ成分とを有し、 前記一次像からの光が前記主鏡の前記第1の光通過部および前記レンズ成分を介して前記副鏡で反射され、前記副鏡で反射された光が前記レンズ成分を介して前記主鏡で反射され、前記主鏡で反射された光が前記レンズ成分および前記副鏡の前記第2の光通過部を介して前記第2面上に前記二次像を形成し、 前記反射屈折結像光学系を構成するすべての屈折光学部材は同じ屈折率を有する光学材料により形成されていることを特徴とする反射屈折結像光学系。

IPC (3件)：

G02B 17/08 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G02B 17/08 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D