特許
J-GLOBAL ID：200903050087739484
光学式位置検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-178384
公開番号（公開出願番号）：特開平8-043134
出願日： 1994年07月29日
公開日（公表日）： 1996年02月16日
要約：
【要約】【目的】メインスケール長手方向位置だけでなく、長手方向に垂直なずれ量やメインスケール面に垂直な方向を軸とする回転ずれを検出可能な光学式位置検出装置を得る。【構成】 第1部材1に取付けられ長手方向に平行な格子線を持った格子トラックと垂直な格子線を持った格子トラックを備えたメインスケール10と、長手方向位置検出部を具備し第1部材1に対しZ方向に相対変位する第2部材2に取付けられスライダ20と長手方向に垂直な方向のずれ量を検出可能な揺動検出部を具備した2つのスライダ21、22と、前記2つの揺動検出部から得た2つのずれ量から第2部材2のX方向を軸とする回転ずれ量を求める。
請求項（抜粋）：
スケール長手方向に垂直な格子線を持った長手方向位置検出用格子トラックと長手方向に平行な格子線を持った揺動検出用格子トラックとが施され、第1部材に取り付けられたメインスケールと、前記第1部材と相対的に移動する第2部材に取り付けられ、光源と前記メインスケール上の長手方向位置検出用格子トラックに対応する格子トラックが施されたインデックススケールと前記メインスケールを透過あるいは反射した光を光電変換する光電変換素子とを備え、前記メインスケール長手方向に関する位置を検出する長手方向位置検出手段と、前記第2部材に取り付けられ、光源と前記メインスケール上の揺動検出用格子トラックに対応する格子トラックが施されたインデックススケールと前記メインスケールを透過あるいは反射した光を光電変換する光電変換素子とを備え、前記メインスケールの長手方向に垂直な方向に関するずれ量を検出する少なくとも1つ以上の揺動検出手段と、を有することを特徴とする光学式位置検出装置。
引用特許：
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