特許
J-GLOBAL ID：200903050092839128
放射温度計測装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石田 長七 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-211916
公開番号（公開出願番号）：特開平7-063617
出願日： 1993年08月26日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】基準の温度を計測する手段を別途設ける必要がなく、簡易な構成で高性能の放射温度計測装置を提供する。【構成】赤外線及び周囲温度に感応する第1の赤外線感応抵抗体を固定抵抗R1と直列に接続する。第1の赤外線感応抵抗体と略等しい抵抗温度特性を有し周囲温度のみに感応する第1の基準感熱抵抗体を固定抵抗R2 と直列に接続する。第1の赤外線感応抵抗体と異なる特性を有し赤外線及び周囲温度に感応する第2の赤外線感応抵抗体を固定抵抗R3 と直列に接続する。第2の赤外線感応抵抗体と略等しい抵抗温度特性を有し周囲温度のみに感応する第2の基準感熱抵抗体を固定抵抗R3 と直列に接続する。上記の各直列回路を電源12に並列に接続する。第1及び第2の赤外線感応抵抗体と第1及び第2の基準感熱抵抗体との表面温度から被計測物体の表面温度を非接触で計測することができる。
請求項（抜粋）：
赤外線の輻射エネルギ及び周囲温度に感応する第1の赤外線感応抵抗体と、第1の赤外線感応抵抗体と略等しい抵抗温度特性を有し周囲温度のみに感応する第1の基準感熱抵抗体と、第1の赤外線感応抵抗体と異なる特性を有し赤外線の輻射エネルギ及び周囲温度に感応する第2の赤外線感応抵抗体と、第2の赤外線感応抵抗体と略等しい抵抗温度特性を有し周囲温度のみに感応する第2の基準感熱抵抗体とを半導体基板の表面に形成し、上記各抵抗体の下部の半導体基板を除去して各抵抗体と半導体基板とを熱分離する熱分離空間を形成するとともに、各抵抗体をそれぞれ別の固定抵抗と直列に接続し、各抵抗体と固定抵抗との直列回路を互いに並列に電源に接続して成ることを特徴とする放射温度計測装置。
IPC (3件)：
G01J 5/24
, G01J 5/02
, G01J 5/10
