特許

J-GLOBAL ID：200903050096635705

圧電体膜の製造方法及び圧電素子

発明者： 鈴木 聡
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (2件)： 西 和哉 ,  志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-206630
公開番号（公開出願番号）：特開2009-043889
出願日： 2007年08月08日
公開日（公表日）： 2009年02月26日
要約：

【課題】配向性に優れ、良好な圧電特性を得ることのできる圧電体膜の製造方法及び圧電素子を提供する。【解決手段】本発明の圧電体膜の製造方法は、互いに直交する3つの磁化軸(X1,X2,X3)に対応する3つの磁化率(Mx,My,Mz)が異なる粒子と、粒子を分散させる分散媒と、強度及び方向のうち少なくとも一方が時間的に変動する変動磁場からなる成膜材料を基板上に供給する工程と、成膜材料が供給された基板に、磁場を印加する工程と、磁場を印加した状態で分散媒を除去する工程と、を備え、分散媒を除去して残存した膜材料から圧電体膜を得る。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

互いに直交する3つの磁化軸に対応する3つの磁化率が異なる膜材料と、前記膜材料を分散させる分散媒と、からなる液状体を基板上に供給する工程と、 前記液状体が供給された前記基板に、強度及び方向のうち少なくとも一方が時間的に変動する磁場を印加する工程と、 前記磁場を印加した状態で前記分散媒を除去する工程と、を備え、 前記分散媒を除去して残存した前記膜材料から圧電体膜を得ることを特徴とする圧電体膜の製造方法。

IPC (8件)：

H01L 41/24 ,  H01L 21/316 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/09 ,  H01L 21/31 ,  B41J 2/045 ,  B41J 2/055

FI (8件)：

H01L41/22 A ,  H01L21/316 G ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D ,  H01L41/18 101Z ,  H01L41/08 J ,  H01L21/31 A ,  B41J3/04 103A

Fターム (13件)：

2C057AF51 ,  2C057AG42 ,  2C057AG44 ,  2C057BA04 ,  2C057BA14 ,  5F045AB31 ,  5F045AC07 ,  5F045EB19 ,  5F058BB05 ,  5F058BC03 ,  5F058BF46 ,  5F058BG10 ,  5F058BH01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平3-174538号公報