特許

J-GLOBAL ID：200903050103099318

活性化研磨組成物

発明者： クック リー メルボルン ,  ロンキー スコット ビー. ,  ブランカレオニ グレゴリー
出願人/特許権者： ローデル インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 辻本 一義
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-508250
公開番号（公開出願番号）：特表平8-512357
出願日： 1994年09月02日
公開日（公表日）： 1996年12月24日
要約：

【要約】活性化組成物の調製方法及びそれから得られる表面研磨、特に集積回路の研磨に好ましい組成物を開示する。ここで、主研磨剤は、第2の陽イオンを添加することによって活性化し、その陽イオンの酸化物は前記主研磨剤のみよりも高い研磨速度を呈する。活性化は、活性イオンが前記主研磨剤表面に吸着するのに好ましいpHである水溶性媒体中で、この活性陽イオンが、循環衝撃を受ける間に、主研磨剤に化学吸着することによって得られる。

請求項（抜粋）：

主研磨剤が、陽イオンがその主研磨剤の表面に化学吸着することによって活性化し、当該イオンの酸化物は前記主研磨剤のみよりも高い研磨速度を呈する研磨用組成物の調製方法であって、この方法が、前記陽イオンが前記主研磨剤表面に吸着するのに好ましいpHである水溶性媒体中で、前記主研磨剤と前記陽イオンを含む化合物が、循環衝撃を受ける工程からなる研磨用組成物の調製方法。

IPC (3件)：

C09K 3/14 550 ,  C01B 33/18 ,  H01L 21/304 321

FI (3件)：

C09K 3/14 550 D ,  C01B 33/18 E ,  H01L 21/304 321 P