電子デバイスのカプセル化装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富村潔
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-528011
公開番号（公開出願番号）：特表平9-512677
出願日： 1995年05月02日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】基板(1)上のデバイス構造物(10〜12)を閉塞するフード(13〜16)を有する音響波で作動するSAWデバイス用のカプセル化装置が、デバイス構造物(10〜12)の範囲内にこれらを収容する凹部を有する。

請求項（抜粋）：

基板(1)上のデバイス構造物(10、11、12)を閉塞するフード(13、14、15)を有する音響表面波で作動するデバイス(SAWデバイス)用のカプセル化装置において、デバイス構造物(10、11、12)の範囲内にこれらを収容する凹部(16)を有する基板(1)上に設けられたカバーによりフード(13、14、15)を作ることを特徴とするカプセル化装置。

IPC (2件)：

H03H 9/25 , H03H 9/10

FI (2件)：

H03H 9/25 A , H03H 9/10

引用特許：

審査官引用 (12件)

特開昭53-087652
特開平4-207308
特開昭55-044300

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