特許

J-GLOBAL ID：200903050116172995

スパッタ用耐熱シート

発明者： 溝口 正伸 ,  村上 正 ,  飯島 俊樹
出願人/特許権者： 日本バイリーン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-273586
公開番号（公開出願番号）：特開平9-085896
出願日： 1995年09月26日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：

【要約】【課題】 ノロからも床面、機材、或は人体などを保護できるスパッタ用耐熱シートを提供すること。【解決手段】 本発明のスパッタ用耐熱シートは、耐熱性繊維からなる不織布層と、この不織布表面を被覆するコーティング層とを有しており、このコーティング層が耐熱性樹脂と、少なくとも多孔性セラミックを含むセラミックとの混合物からなる。

請求項（抜粋）：

耐熱性繊維からなる不織布層と、該不織布表面を被覆するコーティング層とを有するスパッタ用耐熱シートであり、該コーティング層が耐熱性樹脂と、少なくとも多孔性セラミックを含むセラミックとの混合物からなることを特徴とする、スパッタ用耐熱シート。

IPC (2件)：

B32B 18/00 ,  B32B 5/24 101

FI (2件)：

B32B 18/00 D ,  B32B 5/24 101