特許

J-GLOBAL ID：200903050118715120

三弗化窒素ガスの製造方法

発明者： 渡辺 信淳 ,  鄭 容宝 ,  金丸 宗昭 ,  在塚 眞 ,  三本 敦久
出願人/特許権者： 渡辺 信淳 ,  三井東圧化学株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-139539
公開番号（公開出願番号）：特開平5-070982
出願日： 1991年05月16日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：

【要約】【目的】 CF4 発生の少ない、しかも長時間使用に耐える電極を使用して、NF3 ガスの製造を行う。【構成】 フッ化アンモニウム-フッ化水素2成分系溶融塩を電解液とし、電解法による三弗化窒素ガスの製造において、曲げ強度が50MPa以上である多孔性炭素ブロックよりなる高耐久性炭素電極を陽極とする。好ましくは、電解電流密度が4〜30A・dm-2であり、溶融塩のHF:NH4 Fのモル比が1〜3である。

請求項（抜粋）：

フッ化アンモニウム-フッ化水素2成分系溶融塩を電解液とし、曲げ強度が50MPa以上である多孔性炭素ブロックよりなる高耐久性炭素電極を陽極とし、電解することを特徴とする三弗化窒素ガスの製造方法。

IPC (3件)：

C25B 1/24 ,  C01B 21/083 ,  C25B 11/12