特許

J-GLOBAL ID：200903050130648447

真直度測定装置

発明者： 臣永 完
出願人/特許権者： ハイプレシジョン株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-310935
公開番号（公開出願番号）：特開2004-144646
出願日： 2002年10月25日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

【課題】部品の形状を示す断面曲線、またはXYZステージの移動曲線を挟む最小間隔の平行2直線の間隔、すなわち最小領域法による真直度を得ることと、高い信頼性をもつ真直度再現精度測定値を得る。【解決手段】部品の断面曲線またはXYZステージの移動曲線から算出した回帰直線に平行な2直線で断面曲線または移動曲線を挟んでこの平行2直線の間隔を算出し、次に回帰直線に対してわずかに傾斜を変えた平行2直線で断面曲線または移動曲線を挟んでこの平行2直線の間隔を算出し、その間隔どうしを比較することを繰り返して平行2直線の最小間隔を求める。また繰り返し真直度測定して得た各データの回帰直線に対する各測定点の変位の再現精度を真直度再現精度として算出する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被測定物のY方向変位を検出するY変位センサと、このY変位センサまたは被測定物をY方向に直角なX方向に真直移動させるX移動機構と、このX移動機構のX移動した位置を検出するX位置センサと、X位置データとY変位データとを得て演算を行うコンピュータを具備し、X位置に対するY変位データをXY座標上で(xj,yj)j=1〜nと表示したとき、Y変位データの基準直線の式を前記コンピュータで

IPC (1件)：

G01B21/30

FI (1件)：

G01B21/30 101F

Fターム (14件)：

2F069AA02 ,  2F069AA06 ,  2F069AA55 ,  2F069BB40 ,  2F069GG01 ,  2F069GG12 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069HH02 ,  2F069JJ06 ,  2F069JJ25 ,  2F069NN08 ,  2F069NN09 ,  2F069NN25