特許
J-GLOBAL ID：200903050144479478
蒸着坩堝並びにこれを備えた薄膜形成装置、及び表示装置の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井上 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-331317
公開番号（公開出願番号）：特開2007-186787
出願日： 2006年12月08日
公開日（公表日）： 2007年07月26日
要約：
【課題】 簡単な構成で安定した蒸着を継続することができ、蒸着終了後のメンテナンスが容易に実施できる坩堝構造、及び蒸着方法を提供する。【解決手段】 本発明による蒸着坩堝は、材料を充填する部分並びに当該材料の蒸発による蒸気圧を制御するオリフィス板で形成された蒸発室と、前記オリフィス板と蒸発された前記材料を蒸着坩堝の外側へ吐出する吐出板との間の空間に形成される圧力制御室とを備える。また、前記吐出板上に前記圧力制御室の外側に突き出る突起の上端に前記第2開口部を形成し、この突起部の側面にヒータを対向させ、且つこのヒータの上部で当該第2開口部よりも低い位置に断熱機構を設けてもよい。更に、前記蒸着坩堝には、前記圧力制御室の温度を、前記蒸発室の温度より高く保つように、互いに独立して温度設定が可能な蒸発室用ヒータと圧力制御室用ヒータとを設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
薄膜形成装置の蒸着源として用いられる蒸着坩堝であって、
前記蒸着坩堝で蒸発される材料が収容される収容部分、
前記収容部分と第1空間で離間されて配置され且つ第1開口を有するオリフィス板、及び
前記第1空間の外側に前記オリフィス板と第2空間で離間されて配置され且つ前記蒸着坩堝で蒸発された前記材料を該蒸着坩堝の外側に吐出する第2開口を有する吐出板を備え、
前記第1空間内の前記収容部分と前記オリフィス板との間には、前記材料の蒸発室が形成され、
前記第2空間は、その圧力が前記蒸発室の圧力に対して制御される圧力制御室となる蒸着坩堝。
IPC (3件)：
C23C 14/24
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/24 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107GG04
, 3K107GG28
, 3K107GG34
, 4K029BA62
, 4K029CA01
, 4K029DB06
, 4K029DB12
, 4K029DB18
, 4K029HA01
