特許
J-GLOBAL ID：200903050148847978
減圧処理装置および減圧処理方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大井 正彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-206249
公開番号（公開出願番号）：特開平6-029229
出願日： 1992年07月10日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：
【要約】【目的】 処理容器のリークの有無を確実に検出することができる減圧処理装置および減圧処理方法を提供すること。【構成】 減圧処理装置は、減圧処理容器1に強い排気力の主排気系2および弱い排気力の副排気系3,30が設けられ、酸素ガス濃度センサー4またはガス分析計を有することを特徴とする。減圧処理方法は、?@ 処理容器内を弱い排気力で排気しながら、処理容器内の圧力または酸素ガス濃度を検出する工程と、?A 前記?@の工程において、一定時間内に圧力または酸素ガス濃度が所定値以下になった場合には、当該一定時間が経過した後、処理容器内を強い排気力で排気する工程と、?B 前記?@の工程において、前記一定時間内に圧力または酸素ガス濃度が前記所定値以下にならない場合には、以後の工程を中止する工程と、を含むことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
減圧雰囲気において被処理体を処理するための処理容器と、この処理容器に設けられた、強い排気力の主排気系および弱い排気力の副排気系と、前記処理容器または副排気系に設けられた酸素ガス濃度センサーまたはガス分析計とを有してなることを特徴とする減圧処理装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, C30B 25/14
, H01L 21/31
, G01N 1/00
, G01N 30/72
