特許
J-GLOBAL ID:200903050151818571

垂直磁気記録媒体の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 加藤 朝道
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-021629
公開番号(公開出願番号):特開平6-045176
出願日: 1984年11月12日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】【目的】軽希土類及び鉄を中心とする新規な垂直磁気記録媒体(特に光磁気記録媒体)の製造方法の提供。【構成】基板上に金属ガス凝集法により薄膜を形成する垂直磁気記録媒体の製造方法において、基板温度を180°C〜合金の結晶化温度以下の温度に保持し、式RFeにより本質上表わされ、R21〜60原子%、残部Feから成り、Rの内70原子%以上がNd及びPrの1種又は2種、Rの残部はY、La、Ce、Sm、Gd、Tb、Dy、Ho、Er及びYbの一種以上とする組成から成り、膜厚を0.3〜3μmとし、かつ数Å〜数100Åの微細結晶相を少なくとも含むと共に垂直磁気異方性定数Kuと飽和磁化MsとがKu>2πMs2である垂直磁気異方性を有し、温度差Tcry-Tcが50°C以上である薄膜を形成する。
請求項(抜粋):
基板上に金属ガス凝集法により薄膜を形成する垂直磁気記録媒体の製造方法において、基板温度を180°C〜合金の結晶化温度以下の温度に保持して、式RFeにより本質上表わされ、希土類元素R21〜60原子%、残部Feから成り、Rの内70原子%以上がNd及びPrの1種又は2種、なおRの残部はY、La、Ce、Sm、Gd、Tb、Dy、Ho、Er及びYbの一種以上とする組成から成り、膜厚を0.3〜3μmとし、かつ数Å〜数100Åの微細結晶相を少なくとも含むと共に垂直磁気異方性定数Kuと飽和磁化MsとがKu>2πMs2なる関係を充足する垂直磁気異方性を有し、さらに結晶化温度Tcryとキュリー温度Tcとの温度差Tcry-Tcが50°C以上である薄膜を形成することを特徴とする垂直磁気記録媒体の製造方法。
IPC (8件):
H01F 41/18 ,  C22C 38/00 303 ,  C23C 14/14 ,  G11B 5/66 ,  G11B 5/85 ,  G11B 11/10 ,  G11C 13/06 ,  H01F 10/14

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