含フッ素共重合体とその製造方法およびそれを含むレジスト組成物

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-131485
公開番号（公開出願番号）：特開2005-097531
出願日： 2004年04月27日
公開日（公表日）： 2005年04月14日
要約：

【課題】官能基を有し、幅広い波長領域で高い透明性を有する含フッ素ポリマーおよび該含フッ素ポリマーからなるレジスト用組成物を与えること。【解決手段】下記式(1)で表される含フッ素ジエンが環化重合したモノマー単位に由来する単位、および他の環化重合したモノマー単位に由来する単位またはアクリル系単量体が重合したモノマー単位に由来する単位を有する含フッ素共重合体およびこれらをベースポリマーとするレジスト組成物。CF2=CFCH2CH(CH2C(CF3)2(OR1))CH2CH=CH2 (1) ただし、R1は水素原子、エーテル性酸素原子を有してもよい炭素数20以下のアルキル基、炭素数6以下のアルコキシカルボニル基またはCH2R2(R2は炭素数6以下のアルコキシカルボニル基)である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で表される含フッ素ジエンが環化重合することにより生成するモノマー単位に由来する単位と下記式(2)で表される官能基含有含フッ素ジエン(ただし、式(1)で表される含フッ素ジエンを除く。)が環化重合することにより生成するモノマー単位に由来する単位とを有する含フッ素共重合体(A1)。 CF2=CFCH2CH(CH2C(CF3)2(OR1))CH2CH=CH2 (1) ただし、R1は水素原子、エーテル性酸素原子を有していてもよい炭素数20以下のアルキル基、炭素数15以下のアルコキシカルボニル基またはCH2R2(R2は炭素数15以下のアルコキシカルボニル基)であり、R1のアルキル基、アルコキシカルボニル基およびR2はその水素原子の一部または全てがフッ素原子に置換されていてもよい。 CF2=CR3-Q-CR4=CH2 (2) ただし、R3、R4はそれぞれ独立に、水素原子、フッ素原子、炭素数3以下のアルキル基、炭素数3以下のフルオロアルキル基、または環状脂肪族炭化水素基、Qは官能基もしくは官能基含有側鎖基を有するアルキレン基、オキシアルキレン基、フルオロアルキレン基、またはオキシフルオロアルキレン基を表す。

IPC (4件)：

C08F236/20 , C08F220/10 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (4件)：

C08F236/20 , C08F220/10 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R

Fターム (41件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 4J100AL04R , 4J100AL08R , 4J100AS13P , 4J100AS13Q , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA20Q , 4J100BB07P , 4J100BB07Q , 4J100BB07R , 4J100BB11Q , 4J100BB12Q , 4J100BB18Q , 4J100BB18R , 4J100BC04P , 4J100BC04Q , 4J100BC04R , 4J100BC08R , 4J100BC09P , 4J100BC09R , 4J100BC12R , 4J100BC53R , 4J100CA04 , 4J100CA05 , 4J100CA21 , 4J100DA04 , 4J100DA25 , 4J100JA38

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-189880号公報
特開平4-226177号公報
基材との密着方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-031249 出願人：旭硝子株式会社

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