特許
J-GLOBAL ID:200903050156779302

荷重センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 滝本 智之 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-059406
公開番号(公開出願番号):特開平11-258075
出願日: 1998年03月11日
公開日(公表日): 1999年09月24日
要約:
【要約】【課題】 周囲の温度が変化しても出力電圧が変動してしまうということのない荷重センサを提供することを目的とする。【解決手段】 センサ基板17を金属ベース基材18と、絶縁ガラス層19と、2つの電極20と、歪抵抗素子21とで構成し、このセンサ基板17における金属ベース基材18と絶縁ガラス層19の熱膨張係数を略同じものにしたものである。
請求項(抜粋):
外底面から下方に突出する筒状のガイド部を有するとともに内底面に固定部を有しかつ上面に開放部を設けたケースと、このケースのガイド部に挿入される柱部およびこの柱部の先端に位置して前記ガイド部より突出した検出部とを有するスティックと、前記ケースの固定部に固定され、かつ前記スティックに与えられる外力をモーメントの力として受けるように前記スティックを支持する金属ベース基材と、この金属ベース基材の上面に設けられた絶縁ガラス層と、この絶縁ガラス層の上面に設けられた少なくとも2つの電極と、この電極に電気的に接続された歪抵抗素子とにより構成されたセンサ基板と、このセンサ基板の上方に設けられ、かつこのセンサ基板に電気的に接続された回路基板と、前記ケースの上面開放部を覆うように設けた封止部材とを備え、前記センサ基板における金属ベース基材と絶縁ガラス層の熱膨張係数を略同じものにした荷重センサ。
IPC (3件):
G01L 1/22 ,  G01B 7/16 ,  G06F 3/033 330
FI (3件):
G01L 1/22 Z ,  G06F 3/033 330 A ,  G01B 7/18 C

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