特許
J-GLOBAL ID：200903050160649790
ダイヤモンド・ヒートシンクおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-198426
公開番号（公開出願番号）：特開平8-102511
出願日： 1995年08月03日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：
【要約】【目的】 高機能で高効率のダイヤモンド・ヒートシンクを安価に提供する。【構成】 Si基板1上に、ノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる絶縁膜2、半導電性の気相合成ダイヤモンドからなる感熱膜3およびノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる支持膜4を順次形成する。次に、Si基板1を除去して裏返し、絶縁膜2の平坦な表面を上面に位置する。次に、この絶縁膜2をパターニングし、露出した感熱膜3上に電極5a,bを形成する。次に、支持膜4に銅の支持台6を銀ろうはんだ7で固着する。
請求項（抜粋）：
ノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる支持膜と、この支持膜の表面に形成された半導電性の気相合成ダイヤモンドからなる感熱膜と、この感熱膜上の所定領域に形成されたノンドープの気相合成ダイヤモンドからなる絶縁膜と、前記感熱膜上に形成された電極とを備えて形成されたことを特徴とするダイヤモンド・ヒートシンク。
IPC (2件)：
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