特許

J-GLOBAL ID：200903050162446773

処理ユニット

発明者： 青木 泰一郎 ,  中村 彰彦 ,  寺本 和馬 ,  佐藤 泰之
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社 ,  タツモ株式会社
代理人 (1件)： 小山 有 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-233664
公開番号（公開出願番号）：特開2000-061878
出願日： 1998年08月20日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：

【要約】【課題】 処理ユニット内で発生する異物を効果的に取り除く。【解決手段】 処理中は天井部のファン18及び床部のファン20によって移し換えゾーン4内には上下方向の気流が形成され、また、プレート14下面のファン16を駆動することで、ハンド12の摺動によって発生した異物、スクリューネジ7とナット部15との螺合部で発生した異物はフィルタ17に送り込まれ、フィルタ17で捕捉される。

請求項（抜粋）：

複数の処理装置を積層して構成される処理ブロックに隣接して移し換えゾーンを設け、この移し換えゾーンには移し換えロボットを昇降動可能に配置するとともに天井部には清浄なエアの吹出部を、床部にはエアの排出部を設け、更に前記移し換えロボットにはロボット等から発生した異物を補足するためのフィルタとこのフィルタに上方からエアを送り込むファンが設けられていることを特徴とする処理ユニット。

IPC (3件)：

B25J 19/00 ,  H01L 21/68 ,  B65G 43/00

FI (4件)：

B25J 19/00 H ,  B25J 19/00 Z ,  H01L 21/68 A ,  B65G 43/00 N

Fターム (22件)：

3F027CA02 ,  3F027EA04 ,  3F060AA07 ,  3F060AA08 ,  3F060BA00 ,  3F060EB02 ,  3F060EB07 ,  3F060EC02 ,  3F060EC06 ,  3F060GA01 ,  3F060GA13 ,  3F060GB19 ,  3F060HA29 ,  3F060HA30 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031GA02 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-161296
  
• 特開平2-232194
  

審査官引用 (4件)

• 特開平3-161296
  
• 特開平2-232194
  
• 特開平3-161296
  
• 特開平2-232194