特許
J-GLOBAL ID:200903050165367351

気体環境における高度プラズマ閉じ込め正負イオン生成器

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 押田 良久
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-504770
公開番号(公開出願番号):特表平10-503048
出願日: 1995年07月20日
公開日(公表日): 1998年03月17日
要約:
【要約】本発明は、気体環境におけるイオン生成器に関し、高圧電源(Al)に接続したプレート機構(P2、P4、P5)に少なくとも1つの放出針(Ag)を配置し、絶縁プレートが電子の拡散を行う生成器であって、針(Ag)が含む同軸外装(Gn)は、抵抗率が大きく、損失が少なく、誘電性が比較的強い誘電性材料からなり、同じ材料でできた円錐形の第1基部区間(Cp)によって延長され、針の放出端を露出し、この基部区間自体が、外装と同じ材料でできた開いた円錐形の末端構造(Cd)によって延長されていること、該末端構造(Cd)は、円錐形の該末端構造(Cd)とともに該電子拡散プレートを構成する外装と同じ材料のプレート(Pi)によって延長されること、該延長プレート(Pi)は、生成器の外側ケースの一部を形成する極めて導電性の低い材料のプレート(P6)の下に固定されることを特徴とする。特に、一定の場所の汚染防止/汚染除去、静電荷を感知しやすい場所の保護用である。
請求項(抜粋):
気体環境における正負イオン生成器であって、少なくとも1つの放出針または放出尖端(Ag)を支持プレートおよびイオンの加速、集中、拡散プレート機構に配置して構成される電子光学手段(OE)を含み、このプレート機構は、針の放出端ではない尖端が固定される第1導体プレート(P2)と、該針が通過し、該第1導体プレート(P2)に向いた面に絶縁プレート(P4)を備える第2導体プレート(P5)とを含み、該第1および第2導体プレートは適切な高圧電源(A1)に接続され、また1つの絶縁プレートを針の放出端の高さに配置して針から放出される電子の拡散を行う生成器において、 針(Ag)が含む同軸外装(Gn)は、抵抗率が大きく、損失が少なく、誘電性が比較的強い誘電性材料からなること、針(Ag)の放出端側に位置する該外装(Gn)の部分は、外装と同じ材料でできた円錐形の第1基部区間(Cp)によって延長され、該放出端を露出すること、該基部区間(Cp)は、外装と同じ材料でできた開いた円錐形の末端構造(Cd)によって延長されること、該末端構造(Cd)は、円錐形の該末端構造(Cd)とともに該電子拡散プレートを構成する外装と同じ材料のプレート(Pi)によって延長されること、該延長プレート(Pi)は、生成器の外側ケースの一部を形成する極めて導電性の低い材料のプレート(P6)の下に固定されることを特徴とする上記生成器。
IPC (2件):
H01T 23/00 ,  H05H 1/02
FI (2件):
H01T 23/00 ,  H05H 1/02

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