感光性樹脂組成物、これを用いた感光性エレメント、レジストパターンの形成方法及びプリント配線板の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-367419
公開番号（公開出願番号）：特開2003-167341
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】解像度及び光感度の優れた感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)バインダーポリマーと、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)クマリン化合物を必須成分とする光重合開始剤と、(D)下記一般式(II)で表される化合物を必須成分とする着色剤と、を含有する感光性樹脂組成物。なお、式中、R1、R2、R3及びR4は、それぞれ独立にアルキル基等を示す。【化1】

請求項（抜粋）：

(A)バインダーポリマーと、(B)分子内に少なくとも1つの重合可能なエチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)着色剤と、を含有する感光性樹脂組成物であって、(C)成分として、下記一般式(I)で表されるクマリン化合物を含み、(D)成分として下記一般式(II)で表される化合物を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、Z1及びZ2はそれぞれ独立にハロゲン原子、炭素数1〜20のアルキル基、炭素数3〜10のシクロアルキル基、炭素数6〜14のアリール基、アミノ基、炭素数1〜10のアルキルアミノ基、炭素数1〜20のジアルキルアミノ基、メルカプト基、炭素数1〜10のアルキルメルカプト基、アリル基、炭素数1〜20のヒドロキシアルキル基、カルボキシル基、アルキル基の炭素数が1〜10のカルボキシアルキル基、アルキル基の炭素数が1〜10のアシル基、炭素数1〜20のアルコキシル基、炭素数1〜20のアルコキシカルボニル基又は複素環を含む基、nは0〜4の整数、mは0〜2の整数をそれぞれ示す。なお、n個のZ1及びm個のZ2のうち少なくとも2つは環を形成していてもよい。)【化2】(式中、R1、R2、R3及びR4はそれぞれ独立に炭素数1〜18のアルキル基、炭素数2〜18のアルケニル基、炭素数2〜18のアルキニル基、アリール基、炭素数1〜18のカルボキシレート基、炭素数1〜18のアルコキシル基、炭素数2〜18のアルケニルオキシ基、炭素数2〜18のアルキニルオキシ基、炭素数2〜18のアリルオキシ基、炭素数2〜18のアルコキシカルボニル基、炭素数1〜18のアルキルチオ基、炭素数1〜18のアルキルスルホニル基又は炭素数1〜18のアルキルスルフィニル基を示す。)

IPC (11件)：

G03F 7/031 , C08F299/02 , G03F 7/004 505 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/033 , G03F 7/11 501 , G03F 7/40 521 , H05K 3/00 , H05K 3/06 , H05K 3/18

FI (11件)：

G03F 7/031 , C08F299/02 , G03F 7/004 505 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/033 , G03F 7/11 501 , G03F 7/40 521 , H05K 3/00 F , H05K 3/06 J , H05K 3/18 D

Fターム (50件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB11 , 2H025AB15 , 2H025AC01 , 2H025AD01 , 2H025BC42 , 2H025BC43 , 2H025CA20 , 2H025CA28 , 2H025CB13 , 2H025CB14 , 2H025CB43 , 2H025CC11 , 2H025DA01 , 2H025FA03 , 2H025FA17 , 2H025FA40 , 2H025FA43 , 2H096AA26 , 2H096BA05 , 2H096BA20 , 2H096CA20 , 2H096EA02 , 2H096GA08 , 2H096HA17 , 2H096HA27 , 2H096JA04 , 4J027AC02 , 4J027AC03 , 4J027AC04 , 4J027AC06 , 4J027CA25 , 4J027CA34 , 4J027CC05 , 4J027CD10 , 5E339BE13 , 5E339CC01 , 5E339CC02 , 5E339CD01 , 5E339CE11 , 5E339CF05 , 5E339CF16 , 5E339CF17 , 5E339CG04 , 5E339DD04 , 5E339GG10 , 5E343CC63 , 5E343DD33 , 5E343DD43

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