特許
J-GLOBAL ID：200903050182997245
クリーンルーム用フィルタユニット
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-295300
公開番号（公開出願番号）：特開平8-150312
出願日： 1994年11月29日
公開日（公表日）： 1996年06月11日
要約：
【要約】【目的】 良好な気流分布を与えることができるクリーンルーム用フィルタユニットを提供することにある。【構成】 クリーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した断面略半楕円形状又は短径方向に切断した断面略1/4楕円形状を為すものである。短径方向に吹き出す領域の曲率が、長径方向に吹き出す領域の曲率より小さいものである。短径方向に吹き出す領域の曲率が、短径方向に吹き出す領域と長径方向に吹き出す領域との間の中間に吹き出す領域の曲率より小さいものである。短径方向に吹き出す領域が、曲線である。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すことを特徴とするクリーンルーム用フィルタユニット。
IPC (2件)：
引用特許：
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