特許

J-GLOBAL ID：200903050186015331

光放射に対するスイッチ可能共振フィルタおよびその製造方法

発明者： グレゴリー エイ.マゲル ,  ジョン シー.ジンマーマン
出願人/特許権者： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
代理人 (1件)： 浅村 皓 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018975
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221921
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 スイッチ可能光フィルタの構造およびその製造方法を提供する。【構成】 スイッチ可能光フィルタの構造は、問題となる放射に対して透明な基板10を含み、基板10は電極12を含むか、または支持する。スペーサ層16は、電極12と膜22との間にはスペーサ16が存在しないが、他の場所にはいくらかのスペーサ16が残存して膜22を支持するようにして、膜22を電極12上に懸架する。膜22は、特定波長の放射に共振するための特定の長さをもったスロット24を有する。電極12が起動されると、膜22は偏向し、その基板10までの近さの変動が、透過する波長を変化せしめる。

請求項（抜粋）：

a.所定波長の光放射に対して実質的に透明な基板と、b.該基板に隣接して形成された少なくとも1つの電極と、c.該電極を含む層上に、該電極を被覆しないように形成されたスペーサと、d.該スペーサによって支持され、前記電極上に懸架されるように該スペーサ上に形成された膜と、e.該膜に形成されたスロットであって、該スロットが前記所定波長の光放射に対して共振するように形成されている該スロットと、から構成される光フィルタ。

IPC (4件)：

G01J 1/04 ,  G01J 1/02 ,  G02B 5/28 ,  G02B 26/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-247606
  
• 特開平3-174112
  
• 特開平3-174112