特許
J-GLOBAL ID：200903050186431920
元素分析法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
上代 哲司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-305082
公開番号（公開出願番号）：特開平5-142200
出願日： 1991年11月20日
公開日（公表日）： 1993年06月08日
要約：
【要約】【目的】 主成分元素のイオン強度がオーバーフローしてしまう、ppm或はそれ以下の濃度の成分或は不純物元素を検出するような測定条件下においても、主成分元素をオーバーフローすることなく測定可能とする。【構成】 レーザーアブレーションにより固体試料表面の一部を蒸発、原子化しこれをアルゴンキャリアガスで誘導結合プラズマに導入しイオン化し質量分析する方法において、被分析試料が窒化アルミで、誘導結合プラズマがアルゴンプラズマである場合には、Alイオンの代りにArAl複合イオンのイオン強度を測定する。
請求項（抜粋）：
誘導結合プラズマ質量分析において発生する分析試料中の少なくとも1つ以上の元素と誘導結合プラズマを形成するガスの複合イオンのイオン強度を測定して、分析試料中の元素分析を行うことを特徴とする元素分析法。
IPC (2件)：
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