特許
J-GLOBAL ID：200903050186455803
位置決めテーブル装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-113538
公開番号（公開出願番号）：特開平6-320367
出願日： 1993年05月17日
公開日（公表日）： 1994年11月22日
要約：
【要約】【目的】所要スペースを含め装置全体として小型化され、高精度の位置決めを再現性よく、かつ高速に行い得る位置決めテーブル装置の構成を提供する。【構成】方形領域内に永久磁石2を碁盤状に敷きつめた磁極面を上面に備えたベーステーブル1と、前記方形領域の平行2辺に沿ってベーステーブル1上に支持された2個のX軸方向案内軸3と、それぞれこの各案内軸3に沿って案内軸と非接触に移動する2個のスライダ4と、両端部が前記X軸方向スライダ4に固定されるY軸方向案内軸7と、この案内軸7に沿って案内軸7と非接触に移動するY軸方向スライダ8と、各スライダ下面に設けたコイル素子4a,8aと前記碁盤状磁極面とで構成するリニアモータとで装置を構成し、かつ各案内軸には側面にリニアスケール5,9を備えさせ、スライダ4,8にはリニアスケールを利用してみずからの位置を検出する検出体6,10を担持させる。
請求項（抜粋）：
平坦な上面の方形領域内に、磁極面形状が方形の板状もしくは柱状の永久磁石を、隣り合う磁極面の極性が異なるように碁盤状に敷きつめて該上面に固着したベーステーブルと;1個は長手方向に沿う側面に該側面に隣接する物体の長手方向の位置を検出するためのリニアスケールを備え、それぞれ前記テーブル面の方形領域の対向2辺に沿いかつ該対向2辺と直角方向の対向2辺を跨いでベーステーブルに固定される2個の第1の案内軸と;それぞれ第1の案内軸に沿って該案内軸と非接触に移動可能として下部にコイル面が前記碁盤状磁極面と対面するようにコイル素子を取り付け碁盤状磁極面とともにリニアモータを構成させるとともに、1個にはみずからの案内軸長手方向の位置を前記案内軸側面のリニアスケールを利用して検出する検出体を担持させた2個の第1のスライダと;前記第1の案内軸と同一構造に形成され長手方向が第1の案内軸の長手方向と直角になるように両端部がそれぞれ前記2個の第1のスライダに固定される第2の案内軸と;前記検出体を担持した方の第1のスライダと同一構造に形成されるとともに、被移動体が載置されるワーク取付けテーブルを備えた第2のスライダと;を備えてなり、前記第1および第2のスライダに被移動体の位置検出機能と駆動機能とを備えさせたことを特徴とする位置決めテーブル装置。
IPC (5件)：
B23Q 1/18
, B23Q 5/28
, H01L 21/027
, H01L 21/68
, H02K 41/02
