特許
J-GLOBAL ID:200903050190332902
光偏向器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-008666
公開番号(公開出願番号):特開平11-202226
出願日: 1998年01月20日
公開日(公表日): 1999年07月30日
要約:
【要約】【課題】外部振動の影響を受けること無く、安定して光を2次元走査させることが可能な小型で低価格な光偏向器を提供する。【解決手段】少なくとも一方の面に光を反射する反射面112を形成可能な可動板101と、この可動板を弾性的に支持すると共に、ねじれ変形と同時にたわみ変形自在なねじり・たわみばね102と、可動板に形成され、所定の電流を通電可能な駆動コイル106と、この駆動コイルに対して所定の磁場を作用させることが可能な永久磁石104とを備えており、通電された駆動コイルと永久磁石との相互作用によって、可動板をねじれ方向と共にたわみ方向に変位させ、また、可動板の重心は、ねじり・たわみばねのねじれ中心軸A上に略一致している。
請求項(抜粋):
少なくとも一方の面に光を反射する反射面を形成可能な可動板と、この可動板を弾性的に支持すると共に、ねじれ変形と同時にたわみ変形自在な片持ち梁と、前記可動板に形成され、所定の電流を通電可能な駆動コイルと、前記駆動コイルに対して所定の磁場を作用させることが可能な磁場発生手段とを備え、通電された前記駆動コイルと前記磁場発生手段との相互作用によって、前記可動板をねじれ方向と共にたわみ方向に変位させる光偏向器において、前記可動板の重心は、前記片持ち梁のねじれ中心軸上に略一致していることを特徴とする光偏向器。
IPC (2件):
G02B 26/08
, G02B 26/10 104
FI (2件):
G02B 26/08 E
, G02B 26/10 104 Z
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