特許
J-GLOBAL ID：200903050193799658
誘電性基板のような基板用の低電圧静電クランプ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大塚 康徳 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-523888
公開番号（公開出願番号）：特表2000-502509
出願日： 1996年12月20日
公開日（公表日）： 2000年02月29日
要約：
【要約】誘電性の基板(12)用の静電クランプ(10)は電極線(14)の幅を 100 μm以下に縮小し,隣接する電極線の間隔を 100 μm以下に縮小したことにより低電圧電源で動作する。静電クランプ(10)はガラスのような絶縁材料(12)のベース上に形成されるアルミニウムのような電極(14)の配列を含み,電極を覆い保護する窒化物のような絶縁層(24)によって覆われる。電気的な接点(16,18)は,最も高い電界領域に向かって誘電性の基板(22)は引き付ける不均一な電界を作るために交番電極の線(14)に対して反対の極性の電圧を与える。電極線幅と間隔の縮小は薄膜成長と電極の形成に関するエッチングそして塗布層を含むマイクロリソグラフィー技術により作りだされる。
請求項（抜粋）：
誘電性の基板をクランプするための静電クランプであって, 間隔が離れており,誘電性のベース上に形成された電気的に伝導な電極の配列で,前記電極の配列内のそれぞれの電極幅はおよそ 100 μm以下であり,そして前記電極間隔はおよそ 100 μm以下であるものと, 第1の電極のグループと第2の電極のグループで,前記第1と第2の電極グループが前記電極の配列内で相互に交番するものに接続される電気的な接点と, を含む。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B05C 13/02
, B25J 15/06
, H02N 13/00
H01L 21/68 R
, B05C 13/02
, B25J 15/06 S
, H02N 13/00 D
