特許
J-GLOBAL ID：200903050196171552
光導波路型電圧センサおよびその製法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
朝日奈 宗太 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-330856
公開番号（公開出願番号）：特開平9-171035
出願日： 1995年12月19日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】【課題】 2つの電極間に高い電圧が印加されたばあいにも前記電極が破壊されない、測定電圧以上の電圧に対する耐電圧特性の信頼性の高い光導波路型電圧センサおよびその製法を提供する。【解決手段】 電気光学効果を有するLiNbO3基板1と、前記基板の上面側に設けられる分岐干渉型光導波路2と、該光導波路へ電圧を印加するための、第1および第2の電極3、4とからなる光変調器を用いた光導波路型電圧センサであって、前記第1の電極が前記基板の上面側に形成され、第2の電極が前記基板の下面側に形成されていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
電気光学効果を有する基板と、前記基板の上面側に設けられる光導波路と、該光導波路へ電圧を印加するための、第1および第2の電極とからなる光変調器を用いた光導波路型電圧センサであって、前記第1の電極が前記基板の上面側に形成され、第2の電極が前記基板の下面側に形成されてなることを特徴とする光導波路型電圧センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 15/07 B
, G02F 1/035
