特許

J-GLOBAL ID：200903050196895003

基板処理装置

発明者： 藤田 充宏 ,  池田 昌秀 ,  北川 勝 ,  平岡 伸康
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 福島 祥人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-217278
公開番号（公開出願番号）：特開平10-064860
出願日： 1996年08月19日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 基板の反転動作が可能であり、かつ小型化された基板処理装置を提供する。【解決手段】 基板反転機構部20は円弧状の一対のチャック21,21を備え、このチャック21を開閉して基板Wを保持し、または解放する。この一対のチャック21,21は反転モータにより反転する。さらに、基板反転機構部20は昇降シリンダ29によって上下方向に移動可能に構成されている。基板Wの裏面洗浄と表面洗浄の切り替え時には、基板反転機構部20が下降し、チャック21を閉じて基板Wを保持した後、上昇して基板Wを反転する。そして再び下降して基板保持台2上に基板Wを載置する。

請求項（抜粋）：

基板を水平姿勢に保持して前記基板に対して所定の処理を行う基板処理部と、前記基板の端縁を保持して水平軸の周りに反転させる反転手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/304 341 C ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 N