特許

J-GLOBAL ID：200903050198130918

露光装置

発明者： 池ヶ谷 款治 ,  鈴木 清文 ,  内田 直樹
出願人/特許権者： 株式会社トプコン
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-081129
公開番号（公開出願番号）：特開平6-275486
出願日： 1993年03月17日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】 操作性に優れかつ露光精度を向上させることができる露光装置を提供する。【構成】 フォトリソグラフィー用の露光装置において、露光装置本体12をサーマルクリーンチャンバー11内に配置し、マスク2及び基板1を冷却するための冷却手段17を露光装置本体12に設け、サーマルクリーンチャンバー11の外壁に露光装置を制御するための操作部34を配置したことを特徴とする露光装置。

請求項（抜粋）：

フォトリソグラフィー用の露光装置において、露光装置本体(12)をサーマルクリーンチャンバー(11)内に配置し、マスク(2)及び基板(1)を冷却するための冷却手段(17)を露光装置本体(12)に設け、サーマルクリーンチャンバー(11)の外壁に露光装置を制御するための操作部(34)を配置したことを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

H01L 21/30 301 Z ,  H01L 21/30 301 G ,  H01L 21/30 301 H