研磨ヘッド

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：志賀正武 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-249188
公開番号（公開出願番号）：特開2001-071255
出願日： 1999年09月02日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：

【要約】【課題】従来に比較して小さい押圧圧力により被研磨材を均一に研磨パッドに押圧できる膜を介したフローティング形式の研磨ヘッドを提供する。【解決手段】ヘッド本体6と、ヘッド本体6内に設けられたダイヤフラム7と、ダイヤフラム7に固定されるとともに、その下面において研磨すべきウェーハWの一面を保持するキャリア8と、流体室17に満たされた流体圧力を調整する第一の圧力調整機構9と、キャリア8の下面8aと略同一の高さ位置に設けられて、研磨時には研磨パッドに当接するリテーナリング20とを備えた構成において、リテーナリング20をキャリア8に対して固定し、キャリア8の下面8aには弾性膜23を配設し、弾性膜23の周縁部23aをリテーナリング20とキャリア8との間に挟持して固定し、キャリア8には、弾性膜23とキャリア8との間に圧力可変の流体を供給するための流体供給路25を設けた。

請求項（抜粋）：

天板部と該天板部の外周下方に設けられた筒状の周壁部とからなるヘッド本体と、前記ヘッド本体内にヘッド軸線に対し垂直に設けられたダイヤフラムと、前記ダイヤフラムに固定されてダイヤフラムとともにヘッド軸線方向に変位可能に設けられ、かつ、その下面において研磨すべき被研磨材の一面を保持する円盤状のキャリアと、前記キャリアと前記ヘッド本体との間に形成される流体室に満たされた流体圧力を調整する第一の圧力調整機構と、前記キャリアの下面と前記周壁部の内壁との間に同心状に配置されるとともに、前記キャリアの下面と略同一の高さ位置に設けられて、研磨時には研磨パッドに当接するリテーナリングとを備えてなり、前記リテーナリングは、前記キャリアに対して固定され、前記キャリアの下面には弾性膜が配設され、該弾性膜は、その周縁部が、前記リテーナリングと前記キャリアとの間に挟持されて固定され、なおかつ、前記キャリアには、前記弾性膜と前記キャリアとの間に圧力可変の流体を供給するための流体供給路が設けられていることを特徴とする研磨ヘッド。

IPC (4件)：

B24B 37/00 , B24B 37/04 , G11B 5/84 , H01L 21/304 622

FI (5件)：

B24B 37/00 B , B24B 37/04 E , B24B 37/04 G , G11B 5/84 A , H01L 21/304 622 K

Fターム (11件)：

3C058AA07 , 3C058AB04 , 3C058BA05 , 3C058BC01 , 3C058CB01 , 3C058CB03 , 3C058DA17 , 5D112AA02 , 5D112AA24 , 5D112GA02 , 5D112GA11

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