特許
J-GLOBAL ID:200903050199108339

直線測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 木下 実三 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-304708
公開番号(公開出願番号):特開平5-209708
出願日: 1992年10月17日
公開日(公表日): 1993年08月20日
要約:
【要約】【目的】 ピックオフ体がスケールと摺動接触するように弾力的に付勢される直線測定装置の提供。【構成】 直線測定装置は、スピンドル52と接続され、かつ、ハウジング50内で摺動自在に保持されるスケール56と、平ばね60を介して板ばね62によりスケール56と摺動接触可能に付勢されるピックオフ体58とを備えている。平ばね60は、ピックオフ体58のスケール56に対して直交する変位を吸収し、ピックオフ体58とスケール56との当接接触を維持する。ピックオフ体58とスケール56には、静電容量格子がそれぞれ設けられ、スケール56の軸方向移動により発生する容量変化が測定される。
請求項(抜粋):
ハウジングと、その軸方向に移動できるように摺動可能に前記ハウジング内に取り付けられたスケールと、前記スケールとの摺動接触を維持する前面を有し、それに対する前記スケールの動きを測定するセンサを含んで、前記ハウジングに取り付けられたピックオフ体と、前記ピックオフ体と前記ハウジングに連結され、前記スケールが前記ピックオフ体の表面を摺動する時に、前記ピックオフ体を前記スケールに接触するように前記ピックオフ体を弾力的に偏倚し、前記スケールの軸方向の動きが精確に感知されるように軸方向の動きに対して直角の動きを許容しながら、軸方向における前記ピックオフ体の動きを抑制するばね機構と、を備えることを特徴とする直線測定装置。
IPC (2件):
G01B 7/00 ,  G01B 21/02
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平3-125917
  • 特開平3-123814
  • 特開平3-039616

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