特許

J-GLOBAL ID：200903050199664479

照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者： 山崎 尚 ,  七五三木 浩一
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-321437
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162396
出願日： 1994年11月30日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【目的】 光源手段の温度上昇を効果的に防止し、高精度でしかも高いスループットで半導体デバイスの製造ができる照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【構成】 電力制御信号で発光量を制御するようにした光源手段からの光束で照明系を介して被照射面上を照明する際、該電力制御信号に基づいて冷却手段で該光源手段を強制冷却していること。

請求項（抜粋）：

電力制御信号で発光量を制御するようにした光源手段からの光束で照明系を介して被照射面上を照明する際、該電力制御信号に基づいて冷却手段で該光源手段を強制冷却していることを特徴とする照明装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03B 27/32 ,  G03F 7/20 521

FI (4件)：

H01L 21/30 527 ,  H01L 21/30 515 C ,  H01L 21/30 516 E ,  H01L 21/30 516 D

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-054439
  
• 特開昭61-180216