成膜装置およびそのクリーニング方法

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-128812
公開番号（公開出願番号）：特開2002-060926
出願日： 2001年04月26日
公開日（公表日）： 2002年02月28日
要約：

【要約】【課題】成膜室内の部品に付着した蒸着材料を大気解放することなく除去するためのクリーニング方法を提供する。【解決手段】成膜室101内に設けられた基板ホルダ102、蒸着マスク104、マスクホルダ105もしくは防着シールド106といった部品に付着した蒸着材料111に対して加熱処理を行う。これにより付着した蒸着材料111を再び昇華させ、真空ポンプにより排気して除去する。このようなクリーニング方法を電気光学装置の作製工程に含めることで、作製工程の短縮化と信頼性の高い電気光学装置の実現を図る

請求項（抜粋）：

成膜室に設けられた部品に対して赤外光、紫外光もしくは可視光を照射する手段を有することを特徴とする成膜装置。

IPC (5件)：

C23C 14/00 , H01L 21/203 , H01L 21/3065 , H05B 33/10 , H05B 33/14

FI (5件)：

C23C 14/00 B , H01L 21/203 Z , H05B 33/10 , H05B 33/14 A , H01L 21/302 N

Fターム (31件)：

3K007AB13 , 3K007AB18 , 3K007BB01 , 3K007BB02 , 3K007CA04 , 3K007CB01 , 3K007DA00 , 3K007DB03 , 3K007EB00 , 3K007FA01 , 3K007FA02 , 3K007FA03 , 4K029BA62 , 4K029BC07 , 4K029BD00 , 4K029DA00 , 4K029DA09 , 4K029DA10 , 5F004AA15 , 5F004BB05 , 5F004BD07 , 5F004DA00 , 5F004DA01 , 5F004DA04 , 5F103AA01 , 5F103BB45 , 5F103LL01 , 5F103LL20 , 5F103PP01 , 5F103RR01 , 5F103RR07

引用特許：

審査官引用 (1件)

有機薄膜形成装置及び有機材料の再利用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-342653 出願人：日本真空技術株式会社

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