特許
J-GLOBAL ID：200903050205305877
基板処理液定量供給装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-284079
公開番号（公開出願番号）：特開平8-117675
出願日： 1994年10月24日
公開日（公表日）： 1996年05月14日
要約：
【要約】【目的】 清浄、安価、正確かつ再調整することなく基板処理液を定量供給できる基板処理液定量供給装置を提供する。【構成】 途中に自動開閉弁3を備えた液送液管2から秤量槽1に基板処理液が供給され、秤量槽1に貯留された基板処理液は、途中に自動開閉弁6を備えた液供給管5を介して基板処理槽4へ供給される。秤量槽1にはオーバーフロー管7が備えられ、オーバーフロー管7の流路中にはオーバーフロー管7内を流れ落ちる基板処理液の流量を小さくしてその流れに抵抗を与えるオリフィス板9が取り付けられ、オリフィス板9の上流側近傍にはオーバーフロー管7内の基板処理液の有無を検出するセンサ10が設けられている。オーバーフロー管7の流路中にはオリフィス板9の上流と下流とを連通するバイパス管11も設けられている。
請求項（抜粋）：
基板を処理する基板処理槽に、所定量の基板処理液を秤量して供給するための基板処理液定量供給装置であって、前記基板処理液を貯留可能な秤量槽と、前記基板処理液を前記秤量槽に供給する第1の液供給手段と、前記第1の液供給手段から前記秤量槽に供給される基板処理液の量が前記所定量に達すると、それ以上供給される基板処理液を前記秤量槽から排出するオーバーフロー管と、前記オーバーフロー管の流路中に、前記基板処理液の流量を小さくしてその流れに抵抗を与える抵抗付与手段と、前記抵抗付与手段の上流側近傍において前記オーバーフロー管内の基板処理液の有無を検出する液検出手段と、前記秤量槽から前記基板処理槽に前記基板処理液を供給する第2の液供給手段と、を備えたことを特徴とする基板処理液定量供給装置。
IPC (2件)：
B05C 11/10
, G01F 13/00 331
