特許
J-GLOBAL ID：200903050208431245
基板現像装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小野 由己男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-255426
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110580
出願日： 1993年10月13日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】 アルカリ現像液による基板現像をより正確に行えるようにする。【構成】 基板現像装置は、感光性樹脂が塗布されかつ所定のパターンに露光された基板をアルカリ現像液により現像する装置である。この装置は、基板が収容される現像処理部と、アルカリ現像液が貯溜される現像液貯溜槽と、現像処理部と現像液貯溜槽との間でアルカリ現像液を循環させるポンプと、アルカリ現像液に溶解したフォトレジスト濃度を測定するための光学センサと、アルカリ現像液中のアルカリ濃度を測定する導電率計とを備えている。この装置では、光学センサによるフォトレジスト濃度の測定結果に応じて、フォトレジスト濃度が制御される。また、光学センサによるフォトレジスト濃度と導電率計によるアルカリ濃度の測定結果に応じて、アルカリ濃度が制御される。
請求項（抜粋）：
感光性樹脂が塗布されかつ所定のパターンに露光された基板をアルカリ現像液により現像する基板現像装置であって、前記基板が収容される現像処理部と、前記アルカリ現像液が貯溜される現像液貯溜部と、前記現像処理部と前記現像液貯溜部との間で前記アルカリ現像液を循環させる循環手段と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液に溶解した前記感光性樹脂の溶解樹脂濃度を測定する溶解樹脂濃度測定手段と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液のアルカリ濃度を測定するアルカリ濃度測定手段と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液の溶解樹脂濃度測定手段の測定結果に応じて、前記溶解樹脂濃度を制御する溶解樹脂濃度制御手段と、前記現像液貯溜部内のアルカリ現像液の溶解樹脂濃度測定手段及び前記アルカリ濃度測定手段の測定結果に応じて、前記アルカリ濃度を制御するアルカリ濃度制御手段と、を備えた基板現像装置。
IPC (2件)：
G03F 7/30 501
, H01L 21/027
