特許

J-GLOBAL ID：200903050213693967

平面表示基板の製造方法および平面表示基板製造装置

発明者： 荒木 宣義 ,  梨本 柳三 ,  志賀 俊夫 ,  川島 康弘
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立デバイスエンジニアリング株式会社
代理人 (1件)： 秋田 収喜
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-203417
公開番号（公開出願番号）：特開平11-045661
出願日： 1997年07月29日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：

【要約】【課題】 ガラス基板の搬送時における撓み量を低減することが可能な技術を提供すること。【解決手段】 平面表示基板の加工処理を行う複数台の加工手段を有し、前記平面表示基板を1枚ずつ各加工手段に搬送して所定の加工処理を順次行う平面表示基板の製造方法であって、前記加工手段を所定のグループに分け、該各グループ間に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップと、各グループ内で各加工手段間に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップと、前記各加工手段間を巡回している平面表示基板から所定の平面表示基板を前記加工手段に搬送するステップとからなる。

請求項（抜粋）：

平面表示基板の加工処理を行う複数台の加工手段を有し、前記平面表示基板を1枚ずつ各加工手段に搬送して所定の加工処理を順次行う平面表示基板の製造方法であって、前記加工手段を所定のグループに分け、該各グループ間に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップと、各グループ内で各加工手段間に前記平面表示基板を縦姿勢で巡回させるステップと、前記各加工手段間を巡回している平面表示基板から所定の平面表示基板を前記加工手段に搬送するステップとからなることを特徴とする平面表示基板の製造方法。

IPC (5件)：

H01J 9/48 ,  C03B 35/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 346 ,  B65G 49/06

FI (5件)：

H01J 9/48 ,  C03B 35/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G09F 9/00 346 Z ,  B65G 49/06 Z