パタ-ンの検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：功力妙子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085595
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273132
出願日： 1993年03月20日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：

【要約】【目的】フィルムキャリア等に形成されたパタ-ンを自動的に検査する方法を提供すること。【構成】被測定パタ-ンの良品をマスタパタ-ンとした濃淡ヒストグラムからこれを二値化処理してマスタパタ-ンのエッジデ-タから最小二乗法により直線の集合に変換し,互いに対向して位置する両直線間の中心線LM と幅Wを求めて基準となるマスタパタ-ンを作成する。このマスタパタ-ンと被測定パタ-ンとを位置合わせし,検査範囲を設定するとともに,その周辺を一定方向に検査して被測定パタ-ンのエッジデ-タを抽出し,この情報をマスタパタ-ンの直線にそれぞれ対応付けして誤差を検出して良品,不良品の判定をすること【効果】パタ-ンの検査を自動的に行うことが出来る。

請求項（抜粋）：

被測定パタ-ンの良品をマスタパタ-ンの濃淡画像として画像メモリに記憶し,この画像メモリに記憶された前記マスタパタ-ンの濃淡ヒストグラムからこれを二値化処理して前記マスタパタ-ンのエッジデ-タを求め,このエッジデ-タから最小二乗法により前記マスタパタ-ンを直線の集合に変換し,これらの直線から互いに対向して位置する両直線の中心線LM を求めて前記マスタパタ-ン情報として登録し,この中心線LM に直角に交わる線と前記両直線とが交わる点までの長さから前記互いに対向する直線の幅Wを求めて前記マスタパタ-ン情報として登録することにより,被測定パタ-ンと比較するための基準となる前記マスタパタ-ンを作成することを特徴とするパタ-ンの検査方法。

IPC (5件)：

G01B 11/24 , G01N 21/88 , G06F 15/62 405 , G06F 15/62 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開昭62-047504
特開平4-216172
特開昭63-012907

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