特許
J-GLOBAL ID：200903050217960587
搬送用ロボット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-221052
公開番号（公開出願番号）：特開平6-069317
出願日： 1992年08月20日
公開日（公表日）： 1994年03月11日
要約：
【要約】【目的】 作動時に互いに接触しない薄板吸着保持用真空配管を設けた搬送用ロボットを提供する。【構成】 2個以上の薄板保持用真空吸着穴5bを有するアーム3、4、5に、吸着穴5bから個別に導出した真空配管P、Qを各独立して内蔵すると共に、アーム回転部にシール手段Rを設け、又、シール手段RはOリングであること、アーム内壁を溝加工してその開口の閉蓋により真空配管P、Qを形成する。
請求項（抜粋）：
少なくとも2個以上の薄板保持用真空吸着穴を有するアームに、上記各吸着穴から個別に導出した真空配管を各独立して内蔵すると共に、アーム回転部にシール手段を設けたことを特徴とする搬送用ロボット。
IPC (2件)：
引用特許：
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