特許
J-GLOBAL ID：200903050225827705
ウェーハ・テープ・マウンタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 光男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-353168
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201957
出願日： 1993年12月29日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：
【要約】【目的】 ウェーハ支持テーブルを交換することなく、異なる寸法のウェーハにテープを密着させることのできるウェーハ・テープ・マウンタを提供する。【構成】 ウェーハ・テープ・マウンタ10は、8インチウェーハにテープを貼着するときに使用される外側テーブル12と、外側テーブルの内側に同心状に配置され、6インチウェーハにテープを貼着するときに使用される内側テーブル14とを備えている。外側テーブルは外側テーブル基板16とその外縁から直立する円筒状の外側支持部18とから、内側テーブルは内側テーブル基板20とその外縁から直立する円筒状の内側支持部22とから構成され、内側支持部は、外側テーブルの外側テーブル基板を貫通して上下に摺動する。外側支持部及び内側支持部の壁体には吸引通路が貫通し、負圧源に接続され、外側テーブル基板20には、加圧空気源に接続されたエア通路が設けてある。8インチウェーハにテープを貼着する場合には、内側テーブルを退避位置に下降させ、6インチウェーハにテープを貼着する場合には、内側テーブルを吸着位置に上昇させる。
請求項（抜粋）：
筒状の支持部を備え、その上面に備えたウェーハ吸着手段によりウェーハを吸着保持すると共に支持部内側に加圧空気を導入してウェーハを外方に押圧するようにしたウェーハ支持テーブルと、ウェーハ支持テーブルに保持されたウェーハにシート状のテープを貼着するテープ貼着手段とを有するウェーハ・テープ・マウンタにおいて、ウェーハの大小に合わせて互いに異なる径寸法を有し、かつ多重同心状に配置され、上下に相対的に変位可能なように形成された複数のウェーハ支持テーブルと、各ウェーハ支持テーブルを個別に昇降させるテーブル昇降手段とを備え、各ウェーハ支持テーブルは、そのウェーハ支持テーブルの径寸法に対応する大きさの支持部を有し、ウェーハを吸着可能な作動位置とウェーハから離間する退避位置との間をテーブル昇降手段により選択的に昇降することを特徴とするウェーハ・テープ・マウンタ。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, C09J 5/00 JGT
, H01L 21/301
